扩散炉多少钱一台?扩散炉有哪些厂家?
中国电子科技集团公司第四十八研究所
江西展宇新能源股份有限公司
青岛华旗科技有限公司
赛姆柯(苏州)智能科技有限公司
山东力冠微电子装备有限公司
扩散炉数据指标
设备用途:用于大规模集成电路、电力电子、光电器件、光导纤维等行业的氧化、扩散、烧结、合金等工艺。
设备特点:单元组合方式。根据工艺的不同,可以在主机的基础上配气源柜、超净工作台、悬臂推拉舟等。
主要技术指标:
炉管数:1~4管
配工艺管口径:Φ90~360 mm (3~12英寸)
恒温区长度:760~1000 mm±1.0℃ (300~800℃) 760~1000 mm±0.5℃(800~1280℃)
单点稳定性:±1.0℃/24h (300~800℃) ±0.5℃/24h (800~1280℃)
气源路数: ≤7路,可配恒温源瓶、氢氧合成点火器
气体控制: 浮子/质量流量计
悬臂舟参数:速度: 20~1000 mm/min 行程:2000 mm 定位精度:±1 mm 载荷:17 Kg
超净工作台:净化等级:100级(万级厂房)
噪音: ≤62dB(A)
振动: ≤3μm
关键词: